자동화 공장의 공정/검사 설비에서 발생한 데이터를 MES에, 보고하고 설비운용에 필요한 데이터를 관리하는 시스템
적용 산업
-
반도체
-
디스플레이
-
2차 전지
-
태양광
-
자동차
-
-
01
설비(EQ)와 상위 MES간의 중간 매개체 역할
-
-
02
공정, 물류 정보를 MES에 보고 및 지령을 받아 설비를 운영한다.
-
-
03
상위 Recipe에 따라 설비를 운영하고 다른 UNIT들과 I/F 역할 담당